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国家知识产权局信息显示,西安汉微磁电精密科技有限公司取得一项名为“一种化合物晶体生长用磁流体密封装置”的专利,授权公告号CN223609310U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种化合物晶体生长用磁流体密封装置,包括空心转轴,空心转轴的表面分别设置有深沟球轴承和角接触轴承,深沟球轴承和角接触轴承的表面固定套接有法兰座,且法兰座与空心转轴之间对称设置有隔圈,隔圈之间设置有磁流体密封件,且法兰座的内腔开设有冷却通道,法兰座的底部开设有排液口,本实用新型涉及半导体制造设备技术领域。该化合物晶体生长用磁流体密封装置,将冷却液输送到冷却通道中,从而对整个磁流体密封装置进行降温,以及通过一对角接触轴承和深沟球轴承使空心转轴在转动的过程中可以实现高精度的转动,以及和隔圈整体的强度可以承受较高的轴向负载以及径向负载,满足晶体生长炉体内的负载要求。
天眼查资料显示,西安汉微磁电精密科技有限公司,成立于2023年,位于西安市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,西安汉微磁电精密科技有限公司。
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